یکی از نکات مهم در همه سیستمهای خلأ، تمیزکاری است. تمیزکاری در تکنولوژی خلأ تنها به معنی زدودن آلودگیهای قابل مشاهده نیست. این تمیزکاری شامل زدودن انواع آلودگیهایی است که بصورت فیزیکی روی سطوح چسبیدهاند(مانند انواع روغنها و گریسها) و یا آلودگیهایی که دراثر واکنشهای شیمیایی بر روی سطوح بوجود آمدهاند(مانند اکسیدها و سولفیدها). درواقع همه سیستمهای خلأ با هر محدوده فشاری و در هر کاربردی نیازمند سطحی از تمیزکاری هستند. معمولا هرچه خلأ مورد نیاز بالاتر، درجه تمیزی نیز بالاتر است. وجود آلودگی ممکن است بر فشار نهایی سیستم تاثیر بگذارد و یا بر نتایج پروسهای که تحت خلأ انجام میگیرد تاثیر بگذارد. برای مثال وجود بخارات آب در محفظه خلأ تاثیر قابل توجهی بر فشار در محدودههای خلأ متوسط، بالا و خیلی بالا دارد. برخی از آلودگیها نیز مانند چربی و بخارات فلزی ممکن است بر روی سطوح داخل محفظه(و سایر قطعات داخل محفظه خلأ) نشسته و خواص سطوح را تغییر دهند. مثلا باعث کدر شدن سطوح اپتیکی شده و یا خواص تشعشعی سطوح را تغییر دهند.
جهت انتخاب روش تمیزکاری مناسب در سیستمهای خلأ توجه به نکات زیر اهمیت دارد:
- محدوده خلأ مورد نیاز(Base Pressure)، (خلأ پایین، متوسط، بالا و یا خیلی بالا)
- کارآیی خاص درطول یک فرآیند تحت خلأ مانند گازروی پایین در طول یک فرآیند
- عدم وجود آلودگی خاص، مثلا عدم وجود بخار آب حتی بمیزان خیلی کم
- جنس مواد
- فرآیندهای ساخت مورد استفاده
- مسایل ایمنی
- هزینه
روشهای مختلف تمیزکاری معمولا بصورت تمیزکاری مکانیکی، تمیزکاری شیمیایی و یا تمیزکاری مکانیکی-شیمیایی میباشد.
تمیزکاری مکانیکی:
در تمیزکاری مکانیکی با استفاده از روشهای مکانیکی فرآیند تمیزکاری انجام میگیرد. استفاده از هوای فشرده یکی متداولترین روشهای تمیزکاری فیزیکی است. پولیشکاری سطوح نیز از دیگر روشهای فیزیکی متداول است.
تمیزکاری شیمیایی:
در این روش، تمیزکاری با استفاده از روشهای شیمیایی انجام میگیرد. مانند استفاده از مواد شوینده و یا الکتروپولیش سطوح.
تمیزکاری مکانیکی-شیمیایی:
تمیزکاری با استفاده از مواد شوینده در التراسونیک یک روش مکانیکی-شیمیایی برای تمیزکاری محسوب میشود.
برخی نکات مهم در تمیزکاری سیستمهای خلأ
پیشنهاد میشود برای تمیزکاری و کار کردن با تجهیزات خلأ حتما از دستکش مناسب(معمولا دستکش لاتکس بدون پودر) استفاده شود. همچنین توصیه میشود از دستمالهای بدون پرز برای تمیزکاری استفاده شود. مراقب بجا ماندن قطعات و پرزهای دستمال و یا موی انسان در داخل محفظه باشید.
درصورت عدم رعایت نکات ایمنی، استفاده از برخی حلالها ممکن است برای سلامتی افراد مضر باشد. مثلا استنشاق بخارات استون سرطان زا است و یا استنشاق بخارات برخی اسیدها میتواند سبب آسیب جدی به سیستم بویایی شود.
برای تمیزکاری ارینگهای لاستیکی، با اینکه میتوان از برخی از حلالها مانند الکل استفاده نمود اما این حلالها سبب کم شدن عمر مفید این ارینگها میشود. لذا اکیدا توصیه میشود از این حلالها برای تمیزکاری ارینگها استفاده نشود. بهترین راه برای تمیزکاری ارینگها استفاده از گریس خلأ و دستمال است. ابتدا ارینگ را با دستمال خشک پاک کنید. سپس کمی گریس به آن مالیده و با دستمال بدون پرز گریس اضافی را پاک میکنیم.
پس از اتمام فرآیندهای ساخت، ابتدا میتوان با استفاده از هوای فشرده ذرات درشتتر را از سطوح پاک نمود. ترجیحا هوای فشرده بدون روغن و رطوبت باشد. درحین تمیزکاری با استفاده از هوای فشرده، توجه به نکات ایمنی مانند استفاده از عینک ضروری است.
برخی از مواد شوینده مانند آب و شویندههای خانگی، اسیدها و آلکالاینها ممکن است پس از شستوشو از خود رسوب بجای گذارند. این رسوبات حتما باید با استفاده از حلالهای مناسب پاکسازی شوند. به جا ماندن برخی از این رسوبات علاوه بر آلودگی سطوح، ممکن است سبب خوردگی در محل رسوبات شوند.
معمولا فلزات، شیشهها و سرامیکها را میتوان با استفاده از آب داغ پرفشار نیز شستوشو داد. این آب ممکن است دارای مواد شوینده باشد. نکته مهم در شستوشوی فلزات با آب آن است که حتما باید پس از آن، فلزات را در دمای بالا(بین 200 تا 250 درجه سانتیگراد) و به مدت کافی خشک نمود. سرامیکها را میتوان تا دماهای بالاتری نیز حرارت داد.
پولیش و صیقلی کردن سطوح فلزی میتواند علاوه بر ساده کردن تمیزکاری سطوح فلزی، سبب کاهش میزان گازروی(outgassing) آنها نیز شود. با اینحال و مخصوصا در کاربردهای خلأ خیلی بالا(UHV) نحوه پولیشکاری و میزان آن نیز باید مورد توجه قرار گیرد.
برخی از سطوح فلزی را میتوان با استفاده از روشهای سند بلاست و یا شات بلاست تمیزکاری نمود. از این روش برای پاکسازی سطوح از برخی اکسیدها و مواد پوشش شده(coated) بر روی فلزات میتوان استفاده کرد. معایب اصلی این روش عبارت است از افزایش سطح میکروسکوپی و ماکروسکوپی(که خود سبب افزایش زمان تخلیه در محدوده خلأ بالا و خیلی بالا شود) و همچنین سختی تمیزکاری سطوح پس از فرآیند سندبلاست یا شات بلاست.
از مواد شیمیایی که میتوان در تمیزکاری فلزات بکار برد: انواع شویندههای خانگی در مراحل اولیه تمیزکاری، استفاده از الکلها و استون در مراحل نهایی تمیزکاری و همچنین استفاده از برخی اسیدها(اسید شویی) مانند اسید سیتریک برای زدودن اکسیدها مخصوصا در محل جوشکاری و یا بعد از فرایندهای پوششدهی.
استفاده از دستگاه التراسونیک بهمراه شویندهها باعث تمیزی بهتر سطوح(معمولا فلزات) میشود. مخصوصا در سطوح دارای خلل و فرج و مناطقی که دسترسی مناسبی ندارند.
در برخی کاربردها میتوان از روش الکتروپولیش برای فلزات استفاده نمود. این روش باعث میشود خلل و فرج میکروسکوپی سطوح فلزی کاهش پیدا کند و در نتیجه میزان گازروی کاهش یابد.(در محدوده خلأ بالا). استفاده از این روش برای محدودههای خلأ خیلی بالا دارای محدودیتهایی است.
برای محدودههای خلأ پایین، میتوان با شستوشوی اولیه با آب و شوینده و سپس خشک کردن و تمیزکاری نهایی با الکل یا استون فرآیند تمیزکاری را انجام داد. برای خلأ متوسط و بالا، علاوه بر روشهای فوق، پولیشکاری سطوح و اسیدشویی محل جوشها نیز اکیدا توصیه میشود. در کاربردهای خلأ خیلی بالا، شرایط تمیزکاری بسیار سختگیرانهتر است و همواره باید فرآیند گرمادهی تا دماهای تا 400 درجه سانتیگراد(Baking) انجام گیرد(در شرایط خلأ و پیش از شروع فرآیند).
شرکت پایاصنعت خلأ آماده ارائه مشاوره در زمینه تکنولوژی خلأ است. همچنین این شرکت ارائه دهنده خدمات سرویس، تعمیر و نگهداری به انواع دستگاههای خلأ میباشد.